第五十八章丶MAC晶片(2 / 2)
一道道指令,从苏晚晴口中清晰冷静地发出。
通过内部通话系统,直达各个机台的操作员。
她的眼睛如同精密的雷达,捕捉着屏幕上每一个细微的波动。
大脑飞速运算,预判潜在风险,即时调整策略。
陈江河和周宇光被允许在监控室旁观。
他们看着屏幕上跳动的数字,听着苏晚晴那毫无感情却精准无比的指令,感受着空气中弥漫的丶令人窒息的紧张感。
每一片晶圆的流转,都牵动着所有人的神经。
时间仿佛被拉长,每一秒都如同一个世纪。
第三天深夜。
关键的金属层互联(Metal 2)光刻工序…
晶圆在精密机械臂的操控下,对准光罩。
深紫外雷射透过复杂的光学系统,在涂满光刻胶的晶圆表面,投射出精细的电路图案。
就在这时,监控屏幕上代表套刻精度的参数,猛地跳出一个刺眼的红色报警!
「怎麽回事?数值超标!」
老宋脸色煞白。
操作员声音发颤:「可能是…机台温度波动…或者…振动…」
苏晚晴猛地站起身,冲到控制台前。
手指在键盘上飞快敲击着,调出实时振动监测数据和温控曲线。
「暂停曝光!晶圆移出!」
几秒钟后,她果断下令,「启动机台自检程序!重点检查载物台(Stage)气浮轴承和温控回路!」
「通知设备组!立刻排查车间外部可能的地面微振动源!」
「已曝光晶圆单独标记!后续工序重点监控!」
设备组立刻紧急排查…
果然发现,是附近一条临时施工道路的夜间重型卡车通行,引发了地面微振动!
问题解决后,苏晚晴调整了曝光参数和补偿算法,剩馀晶圆顺利通过。
七天后,漫长煎熬的等待终于结束了。
封装测试车间里。
首批二十颗封装好的MAC晶片,被小心翼翼地插入高低温测试插座。
苏晚晴丶陈江河丶周宇光丶老宋等人屏息凝神,围在测试台旁。空气似乎被凝固了。
测试工程师深吸口气,按下启动键。
电源指示灯亮起!
测试程序载入!
示波器屏幕上,代表时钟信号的方波稳定跳动!
逻辑分析仪的探头上,数据流如同瀑布般倾泻而下!
「主频锁定…50MHz!」
「功耗…稳定在预算值!」
「功能向量组1…通过!」
「功能向量组2…通过!」
…
「所有功能测试向量…全部通过!错误数:零!」
测试工程师的声音,因为激动而颤抖!
「温度循环测试(-40°C到+85°C)…通过!」
「老化测试(125°C,168小时)…首批抽测5片,全部通过!」
成功了!
监控室里爆发出压抑已久的欢呼!
老宋激动地摘下眼镜,抹着眼角。
周宇光用力拍着陈江河的肩膀,哽咽无语…
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